[发明专利]用于防止镜头内部雾化的方法及装置在审
| 申请号： | 201510729487.1 | 申请日： | 2015-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN105223786A | 公开（公告）日： | 2016-01-06 |
| 发明（设计）人： | 胡德莹 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京聿宏知识产权代理有限公司 11372 | 代理人： | 张少辉;刘华联 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于防止镜头内部雾化的方法和一种用于防止镜头内部雾化的装置。该方法包括确定镜头内部的雾化位置；在雾化位置处通入洁净气体以排除镜头的雾化位置处的杂质气体。本发明的用于防止镜头内部雾化的方法有效地提高了镜头的透明度，使镜头无需经常更换以及清洁维护，一方面提高了光刻制程过程中的产能，另一方面可延长镜头的使用寿命，大大降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 防止 镜头 内部 雾化 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种用于防止镜头内部雾化的方法，包括：确定镜头内部的雾化位置；在所述雾化位置处通入洁净气体以排除所述镜头的雾化位置处的杂质气体。
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