[发明专利]一种蓝宝石晶片的抛光装置及其抛光方法

摘要

本发明提出的一种蓝宝石晶片的抛光装置及其抛光方法，对现有工艺流程进行改进，包括：钻石抛光液振荡处理、磁力搅拌处理、抛光盘的盘面平整度测量与修整、喷嘴连接、晶片贴蜡处理和蓝宝石晶片抛光，并设计和改进与工艺配合的震荡机、加热磁力搅拌器和抛光机，对钻石抛光液品质和均匀性进行改良，确保了晶片的抛光品质，稳定了抛光的移除率，有效减少对晶片表面的划伤和划痕，抛光后晶片的抛光品质更加好，晶片表面平整度明显提高，TTV会控制在2以内，同时采取了相应的自动化机构，不需要人员额外付出时间，减少了人力摇晃搅拌的人力成本和搅拌不均匀现象。

主权项

一种蓝宝石晶片的抛光装置，其特征在于，包括震荡机、加热磁力搅拌器和抛光机，所述震荡机包括底座、抛动座、电机、偏心轮和连接杆，所述底座上设有4根滑动轴，所述滑动轴为竖直设置的直线光轴，所述抛动座的两侧套合在滑动轴上，抛动座上设有固定块，所述电机设置于底座内，所述偏心轮与电机的传动端固接，所述连接杆的上端与抛动座的一侧铰接，下端与偏心轮铰接，实现抛动座的竖直上下移动。