[发明专利]条纹对比度可调的动态点衍射干涉仪

摘要

本发明公开了一种条纹对比度可调的动态点衍射干涉仪，包括短相干激光器、可调中性滤波片、二分之一波片、偏振分光棱镜、第一四分之一波片、第一角反射镜、第二四分之一波片、第二角反射镜、显微物镜、光纤、衍射模板、被测件、第三四分之一波片、成像透镜、微偏振片阵列和感光元件。本发明实现一次曝光即可获得一次曝光即可获得四幅相移图像，可达到实时检测的效果；光路中简化了产生相移的装置；由于产生相移的微偏振片阵列直接集成到感光元件上，抗振要求降低；干涉条纹对比度可调，适用于不同反射率的球面检测。

主权项

1.一种条纹对比度可调的动态点衍射干涉仪，包括短相干激光器(1)、沿该短相干激光器(1)出射光束光路上依次放置的可调中性滤波片(2)、二分之一波片(3)和偏振分光棱镜(4)，沿该偏振分光棱镜(4)的透射光路上依次设置有第一四分之一波片(5)和第一角反射镜(6)，沿该偏振分光棱镜(4)的反射光束光路上依次设置有第二四分之一波片(7)和第二角反射镜(8)，其特征在于，所述的偏振分光棱镜(4)的第四方设置有显微物镜(9)，使分别由第一角反射镜(6)和第二角反射镜(8)反射的光束经偏振分光棱镜(4)汇聚在所述的显微物镜(9)上，该显微物镜(9)通过光纤(10)与衍射模板(11)相连，沿该衍射模板(11)一部分衍射光束光路上设置有被测件(12)，沿该衍射模板(11)另一部分衍射光束光路上依次设置有第三四分之一波片(13)、成像透镜(14)、偏振片阵列(15)和感光元件(16)；由所述的衍射模板(11)衍射的一部分衍射光到达被测件(12)后被反射，由该被测件(12)反射的光到达衍射模板(11)后再次被反射，该被衍射模板(11)反射的光，经依次第三四分之一波片(13)、成像透镜(14)和微偏振片阵列(15)后被感光元件(16)接收；由衍射模板(11)的衍射的另一部分衍射光直接经所述的成像透镜(14)和微偏振片阵列(15)被感光元件(16)接收；所述微偏振片阵列(15)的单元尺寸与感光元件(16)像素单元尺寸相同，即一一对应关系，所述的微偏振片阵列(10)集成在感光元件(11)靶面上，并且两者的单元相互对准。