[发明专利]一种针测机承载盘的降温装置在审
| 申请号： | 201510692606.0 | 申请日： | 2015-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN106560665A | 公开（公告）日： | 2017-04-12 |
| 发明（设计）人： | 沈顺金 | 申请（专利权）人： | 安徽超元半导体有限公司 |
| 主分类号： | F25D1/00 | 分类号： | F25D1/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海集信知识产权代理有限公司31254 | 代理人： | 任永武 |
| 地址： | 247100 安徽省池州市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种针测机承载盘的降温装置，包括风机、进气管、压缩空气开关、进气接口、中空密封装置、承载盘，所述风机与进气管、压缩空气开关依次连接，所述进气接口安装在中空密封装置上，所述压缩空气开关通过连接管与进气接口相连，所述中空密封装置的下表面开设有出气孔，所述出气孔的下方固定有所述承载盘。本发明降温装置，通过风机、进气管、压缩空气阀门、连接管、中空密封装置构成外部吹气装置对承载盘进行吹气降温，具有结构简单、使用方便、降温效果好的特点；能够有效地避免降温过程导致的承载盘磕碰；能够清除针测机承载盘上存留的灰尘或其他颗粒，有效地避免存留颗粒造成的暗裂和破片风险。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 针测机 承载 降温 装置 | ||
【主权项】：
一种针测机承载盘的降温装置，其特征在于：包括风机、进气管、压缩空气开关、进气接口、中空密封装置、承载盘，所述风机与进气管、压缩空气开关依次连接，所述进气接口安装在中空密封装置上，所述压缩空气开关通过连接管与进气接口相连，所述中空密封装置的下表面开设有出气孔，所述出气孔的下方固定有所述承载盘。
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