[发明专利]一种超级电容器电极材料及其制备方法在审
申请号: | 201510684171.5 | 申请日: | 2015-10-20 |
公开(公告)号: | CN105225845A | 公开(公告)日: | 2016-01-06 |
发明(设计)人: | 李晓军;宋志伟;赵修臣;刘颖;梁明会;褚卫国 | 申请(专利权)人: | 国家纳米科学中心 |
主分类号: | H01G11/46 | 分类号: | H01G11/46;H01G11/28;H01G11/86 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 巩克栋;侯桂丽 |
地址: | 100190 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供了一种超级电容器电极材料及其制备方法,该电极材料包括衬底,位于衬底上的多孔镍膜,和位于多孔镍膜表面及孔隙中的过渡金属氧化物。该电极材料通过磁控溅射工艺,湿法腐蚀工艺及电子束蒸发镀膜工艺制备得到。该超级电容器电极材料具有较高的质量比电容以及面积比电容,循环性能以及抗弯折性能优异,并且具有结构稳定及轻质等特点,是一种优异的超级电容器储能器件,非常适合储能器件的制备,具有广阔的应用前景;另外,该电极材料采用微纳加工工艺制备得到,其制备方法与半导体器件加工工艺相兼容。 | ||
搜索关键词: | 一种 超级 电容器 电极 材料 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种超级电容器电极材料,其特征在于,所述电极材料包括衬底,位于衬底上的多孔镍膜,和位于多孔镍膜表面和孔隙中的过渡金属氧化物。
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