[发明专利]用于建立虚拟拴系的方法、装置及系统

摘要

本发明涉及用于建立虚拟拴系的方法、装置及系统。一种用于建立移动设备与半导体处理工具之间的虚拟拴系的方法，该方法包括：通过移动设备而获得与半导体处理工具相关联的唯一密钥；基于由移动设备获得的唯一密钥而建立移动设备与半导体处理工具之间的唯一配对；响应于成功地建立唯一配对，认证移动设备的用户，以便访问半导体处理工具；响应于成功地认证用户，在半导体处理工具上执行资源仲裁，资源仲裁包括基于授予用户的访问级别而保留与半导体处理工具相关联的一个或更多个资源；在一段时间内对移动设备的活动水平进行监测；以及将活动水平与预定的活动水平阈值比较。

主权项

一种用于建立移动设备与半导体处理工具之间的虚拟拴系的方法，所述方法包括：通过移动设备而获得与所述半导体处理工具相关联的唯一密钥；基于由所述移动设备获得的所述唯一密钥而建立所述移动设备与所述半导体处理工具之间的唯一配对；响应于成功地建立所述移动设备与所述半导体处理工具之间的所述唯一配对，认证所述移动设备的用户，以便访问所述半导体处理工具；响应于成功地认证所述用户，在所述半导体处理工具上执行资源仲裁，该资源仲裁包括基于授予所述用户的访问级别而保留与所述半导体处理工具相关联的一个或更多个资源；在一段时间内对所述移动设备的活动水平进行监测；以及将所述活动水平与预定的活动水平阈值比较。