[发明专利]基于单个Lamb波器件的压力和流速多参数测量装置和方法

摘要

本发明公开了一种基于单个Lamb波器件的压力和流速多参数测量装置和方法，其包括：流道底座，其具有第一凹槽及置于所述第一凹槽内的Lamb波传感器；流道上板，其覆盖于流道底座上，其底面设有流体进出口及流道；测试电路板，其覆盖于所述流道上板上，其具有与外部测试仪器连接的接口；弹性探头，其一端与测试电路板电性连接，另一端穿过所述流道上板并继续延伸形成弹性触头；其中，所述Lamb波传感器从下以上依次设有硅衬底层、地电极、氮化铝薄膜及叉指电极。本发明基于Lamb波传感器的测量装置具有体积小、灵敏度高、损耗低、模式多的特点，且利用单个Lamb波传感器多模式的特点即可精确的测量压力和流速的变化大小和方向。

主权项

一种基于单个Lamb波器件的压力和流速多参数测量装置，其特征在于，包括：流道底座，其具有第一凹槽及置于所述第一凹槽内的Lamb波传感器；流道上板，其覆盖于所述流道底座上，所述流道上板的底面设有流体进出口及供所述流体流经所述Lamb波传感器表面的流道；测试电路板，其覆盖于所述流道上板上表面，其设有与外部测试仪器连接的外接接口；弹性探头，其一端与所述测试电路板电性连接，另一端穿过所述流道上板并继续延伸形成弹性触头；其中，所述Lamb波传感器从下以上依次设有硅衬底层、地电极、氮化铝薄膜及叉指电极，所述弹性触头分别与所述叉指电极和地电极电性连接。