[发明专利]一种清洗设备在审
申请号: | 201510667077.9 | 申请日: | 2015-10-15 |
公开(公告)号: | CN105170534A | 公开(公告)日: | 2015-12-23 |
发明(设计)人: | 王东亮;王琳琳;李兴亮 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
主分类号: | B08B3/04 | 分类号: | B08B3/04;B08B13/00 |
代理公司: | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人: | 申健 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明的实施例提供一种清洗设备,涉及显示器制造领域,可改善清洗液浪费的问题。该清洗设备,包括清洗腔室、新液补充管路、排废液管路,还包括存储箱、循环管路和过滤装置;所述存储箱用于存储清洗液;所述循环管路包括第一循环管路和第二循环管路,所述第一循环管路用于使所述存储箱中的清洗液进入所述清洗腔室,所述第二循环管路用于使所述清洗腔室中的清洗液进入所述存储箱;所述过滤装置用于对经第二循环管路进入存储箱的清洗液进行过滤。用于对基板进行清洗。 | ||
搜索关键词: | 一种 清洗 设备 | ||
【主权项】:
一种清洗设备,包括清洗腔室、新液补充管路、排废液管路,其特征在于,还包括存储箱、循环管路和过滤装置;所述存储箱用于存储清洗液;所述循环管路包括第一循环管路和第二循环管路,所述第一循环管路用于使所述存储箱中的清洗液进入所述清洗腔室,所述第二循环管路用于使所述清洗腔室中的清洗液进入所述存储箱;所述过滤装置用于对经第二循环管路进入存储箱的清洗液进行过滤。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司,未经京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201510667077.9/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:喷淋机对水面光伏电站喷硫酸铜溶液消除青苔的清洁装置
- 下一篇:一种医用清洗架