[发明专利]一种清洗设备在审

专利信息
申请号: 201510667077.9 申请日: 2015-10-15
公开(公告)号: CN105170534A 公开(公告)日: 2015-12-23
发明(设计)人: 王东亮;王琳琳;李兴亮 申请(专利权)人: 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司
主分类号: B08B3/04 分类号: B08B3/04;B08B13/00
代理公司: 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 代理人: 申健
地址: 100015 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明的实施例提供一种清洗设备,涉及显示器制造领域,可改善清洗液浪费的问题。该清洗设备,包括清洗腔室、新液补充管路、排废液管路,还包括存储箱、循环管路和过滤装置;所述存储箱用于存储清洗液;所述循环管路包括第一循环管路和第二循环管路,所述第一循环管路用于使所述存储箱中的清洗液进入所述清洗腔室,所述第二循环管路用于使所述清洗腔室中的清洗液进入所述存储箱;所述过滤装置用于对经第二循环管路进入存储箱的清洗液进行过滤。用于对基板进行清洗。
搜索关键词: 一种 清洗 设备
【主权项】:
一种清洗设备,包括清洗腔室、新液补充管路、排废液管路,其特征在于,还包括存储箱、循环管路和过滤装置;所述存储箱用于存储清洗液;所述循环管路包括第一循环管路和第二循环管路,所述第一循环管路用于使所述存储箱中的清洗液进入所述清洗腔室,所述第二循环管路用于使所述清洗腔室中的清洗液进入所述存储箱;所述过滤装置用于对经第二循环管路进入存储箱的清洗液进行过滤。
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