[发明专利]基于光纤透镜的器件微米尺度温度分布的测量方法及系统

摘要

本发明提供了一种基于光纤透镜的器件微米尺度温度分布的测量方法及系统，将稀土薄膜涂覆在待测量的器件样品表面；将激光照射到稀土薄膜表面，采集稀土薄膜激发的两种不同波长的荧光；将两种不同波长的荧光分离，并将不同波长荧光下的稀土薄膜分别成像；对不同波长荧光下的稀土薄膜成像分别进行解调，通过计算不同波长荧光下的稀土薄膜成像对应点的能量比，获得待测量器件表面的二维温度分布。本发明具有测温快、精度高等优点，并能够实时显示器件表面的二维温度分布状况。

主权项

一种基于光纤透镜的器件微米尺度温度分布的测量方法，其特征在于包括下述步骤：步骤1、将稀土薄膜涂覆在待测量的器件样品表面；所述的稀土薄膜是将摩尔比为100：10：5的β‑NaLuF₄、Yb³⁺和Ho³⁺粉末均匀涂覆在透明的塑料薄膜表面；步骤2、将激光照射到稀土薄膜表面，采集稀土薄膜激发的两种不同波长的荧光；步骤3、将两种不同波长的荧光分离，并将不同波长荧光下的稀土薄膜分别成像；步骤4、对不同波长荧光下的稀土薄膜成像分别进行解调，通过计算不同波长荧光下的稀土薄膜成像对应点的能量比，获得待测量器件表面的二维温度分布，两种不同波长的荧光的能量比其中，B为常数，通过温度定标方法确定，定标时，测量温度T₁时的能量比η₁，在已知ΔE和k时就能够得到B，ΔE为热耦合能级差，取值为0.188eV，k为玻尔兹曼常数，T为待测量器件样品表面的温度。