[发明专利]膜厚的检测装置有效
| 申请号： | 201510639939.7 | 申请日： | 2015-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN105136011B | 公开（公告）日： | 2018-09-14 |
| 发明（设计）人： | 戚务昌;宋荣鑫 | 申请（专利权）人： | 威海华菱光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/06 | 分类号： | G01B7/06 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 赵囡囡;吴贵明 |
| 地址： | 264209 山东省威海*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种膜厚的检测装置。该检测装置包括：公共电极、多个检测电极组与检测电路。其中，各检测电极组与公共电极在第一方向上相对且间隔设置，且公共电极的第一表面与每个检测电极组的第一表面相对，多个检测电极组沿第二方向间隔设置，各检测电极组包括至少一个检测电极，第一方向与第一平面垂直，第二方向与待测膜的移动方向垂直，第一平面与第二方向平行；检测电路与多个检测电极组电连接，检测电路包括移位控制单元，移位控制单元用于控制多个检测电极组的感应电信号的输出顺序。该检测装置能够更加准确地检测出待测膜的厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 装置 | ||
【主权项】：
1.一种膜厚的检测装置，其特征在于，所述检测装置包括：公共电极(12)；多个检测电极组(2)，与所述公共电极(12)在第一方向上相对且间隔设置，且所述公共电极(12)的第一表面与每个所述检测电极组(2)的第一表面相对，多个所述检测电极组(2)沿第二方向间隔设置，各所述检测电极组(2)包括至少一个检测电极(22)，所述第一方向与第一平面垂直，所述第二方向与待测膜的移动方向垂直，所述第一平面与所述第二方向平行；以及检测电路(25)，与多个所述检测电极组(2)电连接，所述检测电路(25)包括移位控制单元(253)，所述移位控制单元(253)用于控制多个所述检测电极组(2)的感应电信号的输出顺序，所述检测电路(25)还包括：采样单元(251)，输入端与所述检测电极组(2)电连接；阻抗匹配单元(252)，一端与所述采样单元(251)的输出端电连接，另一端与所述移位控制单元(253)电连接；以及放大单元(254)，一端与所述移位控制单元(253)电连接，所述检测电路(25)还包括复位单元(256)，所述复位单元(256)设置在所述采样单元(251)与所述阻抗匹配单元(252)之间，在所述采样单元(251)采样之前，所述复位单元(256)将所述检测电极(22)的信号进行复位。
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