[发明专利]压印方法、压印装置和物品制造方法

摘要

一种压印方法包括：在使得模具和用于压印处理的目标压射区域上的压印材料相互接触之前，获得目标压射区域和模具之间的相对位置，并通过驱动校正单元而执行目标压射区域和模具之间的第一对齐，所述校正单元构造成校正目标压射区域和模具之间的相对位置；在使得模具和目标压射区域上的压印材料相互接触之后，通过驱动校正单元执行目标压射区域和模具之间的第二对齐；以及在第二对齐之后执行目标压射区域上的压印处理；其中，第一对齐包括基于校正单元在用于另外的压射区域的第二对齐中的驱动量执行的对齐，在所述另外的压射区域中，比所述目标压射区域更早地执行了压印处理。以及一种压印装置和制造物品的方法。

主权项

1.一种执行压印处理的压印方法，所述压印处理是：通过使用模具在基片的多个压射区域的各压射区域上形成压印材料的图形，所述压印方法包括：在使得模具和压射区域上的压印材料相互接触之前，获得压射区域和模具之间的相对位置，并通过驱动校正单元而执行压射区域和模具之间的第一对齐，所述校正单元构造成校正压射区域和模具之间的相对位置；在执行第一对齐之后并且在使得模具和压射区域上的压印材料相互接触之后，通过驱动校正单元执行压射区域和模具之间的第二对齐，使得压射区域与模具之间的相对位置偏差落入允许范围内；以及在第二对齐之后执行压射区域上的压印处理；其中，第一对齐包括基于关于第一对齐的目标压射区域和模具之间的获得的相对位置和校正单元在用于另外的压射区域的第二对齐中的驱动结果而执行的对齐，在所述另外的压射区域中，比所述目标压射区域更早地执行了压印处理。