[发明专利]一种用于双光子聚合加工的三维椭圆运动工作台

摘要

本发明涉及一种用于双光子聚合加工的三维椭圆运动工作台，属于超精密加工领域。由X向、Y向、Z向三个压电叠堆驱动具有柔性铰链结构的工作台，可实现X、Y、Z三个方向的微动，三个压电叠堆分别由预紧螺钉进行预紧，工作台的各个方向由单独的压电叠堆驱动，避免了其他方向运动对该驱动方向的扰动；对三个压电叠堆通以频率相同而相位差不为零的驱动信号，可以实现工作台在空间的二维椭圆运动或三维椭圆运动，通过控制椭圆运动参数，可调整椭圆的方位和大小，工作台X向、Y向的柔性铰链采用直梁式铰链首尾相连组合而成；本发明涉及的工作台加工简单，体积较小且有较好的载物空间，可实现高频、连续的三维椭圆运动。

主权项

一种用于双光子聚合加工的三维椭圆运动工作台，其特征在于：侧挡板一通过螺钉三、螺钉四与底板连接，侧挡板二通过螺钉五、螺钉六与底板连接，具有铰链结构的工作台的固定端一通过螺钉七、螺钉八安装在侧挡板一之上；固定端二通过螺钉九、螺钉十安装在侧挡板二之上，X向压电叠堆一通过预紧螺钉一与X向驱动块顶接，Y向压电叠堆二通过预紧螺钉二与Y向驱动块顶接，Z向挡块通过固定螺钉一、固定螺钉二固定在X向驱动块上，Z向压电叠堆三安装在Z向挡块之上，通过下部预紧螺钉三与载物台顶接；X向位移传感器与X向压电叠堆一方向一致，安装在X向压电叠堆一一侧通孔内，由紧固螺钉三固定；Y向位移传感器与Y向压电叠堆二方向一致，安装在Y向压电叠堆二一侧通孔内，由紧固螺钉四固定；Z向位移传感器与Z向压电叠堆三方向一致，安装在Z向挡块之上，在Z向压电叠堆三一侧，由紧固螺钉五固定；所述具有铰链结构的工作台由载物台、X向驱动块、Y向驱动块、固定端一、固定端二通过它们之间的柔性铰链连接而成，所述载物台通过柔性铰链一、柔性铰链二、柔性铰链三、柔性铰链四与X向驱动块相接，X向驱动块由复合铰链一、复合铰链二、复合铰链三、复合铰链四与Y向驱动块相连接，复合铰链一与复合铰链二相对于主体Y向中心位置为对称结构，复合铰链三与复合铰链四相对于主体Y向中心位置为对称结构；复合铰链一与复合铰链二、复合铰链三与复合铰链四对称分布在X向驱动块两端，与Y向驱动块相连接，复合铰链五与复合铰链六相对于主体X向中心位置为对称结构，复合铰链七与复合铰链八相对于主体X向中心位置为对称结构，复合铰链五与复合铰链六、复合铰链七与复合铰链八对称分布在Y向驱动块两端，两侧分别与固定端一、固定端二相连接。