[发明专利]一种表面活性剂及用于彩色滤光片负性光刻胶的显影液在审
| 申请号： | 201510618717.7 | 申请日： | 2015-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN105093862A | 公开（公告）日： | 2015-11-25 |
| 发明（设计）人： | 江磊;金旭 | 申请（专利权）人： | 富士胶片电子材料（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32;G03F7/038 |
| 代理公司： | 苏州广正知识产权代理有限公司 32234 | 代理人： | 赵红 |
| 地址： | 215021 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种表面活性剂及用于彩色滤光片负性光刻胶的显影液，所述表面活性剂为嵌段式聚醚非离子表面活性剂，是聚氧乙烯-聚氧丙烯嵌段聚合物，其中EO为聚氧乙烯链段，PO为聚氧丙烯链段，所述显影液包括强碱、上述嵌段式聚醚非离子表面活性剂和纯净水。通过上述方式，本发明的显影液对非图形部分有良好的显影精细度，显影后的图形具有完整、无残渣、无断线、无侧蚀、尺寸准确、不产生畸变等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面活性剂 用于 彩色 滤光 片负性 光刻 显影液 | ||
【主权项】：
一种表面活性剂，其特征在于，所述表面活性剂为嵌段式聚醚非离子表面活性剂，是通式为![]()
的聚氧乙烯‑聚氧丙烯嵌段聚合物，其中EO为聚氧乙烯链段，PO为聚氧丙烯链段，所述聚氧乙烯链段和所述聚氧丙烯链段在所述通式中的键合位置是任意确定的，m和n的取值不同时为0，m和n为整数。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于富士胶片电子材料（苏州）有限公司，未经富士胶片电子材料（苏州）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510618717.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种移除光刻胶的方法
- 下一篇：一种光刻套准补正的方法
