[发明专利]一种基于悬浊液靶材的微细结构激光诱导植入方法及装置

摘要

本发明公开了一种基于悬浊液靶材的微细结构激光诱导植入方法，包括将基材置于玻璃器皿内的含有微细颗粒的悬浊液中；激光经过反射镜由凸透镜进行聚焦至基材需要植入微细颗粒的位置；当聚焦的激光能量大于液体的击穿阈值时，激光击穿悬浊液，产生等离子体膨胀辐射出等离子体冲击波；等离子体消失后诱导产生的空化泡溃灭时能对外辐射出冲击波；空化泡与基材表面相互作用产生高速微射流；产生的冲击波及高速微射流推动微细颗粒冲击植入基材。本发明采用的激光能量不是直接作用于植入靶材上，不会破坏靶材，采用含有微细颗粒的任意深度的悬浊液，源源不断补充植入靶材，以提高连续制备微细结构的效率。本发明还公开了上述方法的装置。

主权项

一种基于悬浊液靶材的微细结构激光诱导植入方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：将基材（12）置于玻璃器皿（7）内的含有微细颗粒（8）的悬浊液（10）中；S2：激光器（1）产生高能脉冲激光（5）；S3：激光经过光路系统中的反射镜（4）由凸透镜（6）进行聚焦至基材（12）需要植入微细颗粒的位置；S4：当聚焦的激光能量大于液体的击穿阈值时，激光击穿悬浊液，产生等离子体膨胀辐射出等离子体冲击波（11）；S5：等离子体消失后诱导产生的空化泡（9）溃灭时能对外辐射出冲击波；S6：空化泡（9）与基材表面相互作用产生高速微射流；S7：产生的冲击波及高速微射流推动微细颗粒（8）冲击植入基材（12）。