[发明专利]一种零排放酸性蚀刻废液循环再生方法及系统

摘要

本发明公开了一种零排放酸性蚀刻废液循环再生方法及系统，采用酸浓缩技术和尾气回收再利用技术，有效解决废液中的金属铜并使蚀刻液再生循环回用，无废液增量产生，实现零排放，该装置系统包括蚀刻液处理系统、再生液循环系统、配液系统和氯回收系统，蚀刻液处理系统包括蚀刻生产线（1）、母液储存罐（2）、电解槽和溶解吸收系统（6），电解槽包括阴极槽（3）和阳极槽（5），再生液循环系统包括再生液储罐（10）和再生液处理系统（11），该方法包括电解、氯气处理和再生液处理等步骤。本发明的有益效果是：该系统用于处理酸性蚀刻废液，能提取金属铜，并具有可离线生产、节约成本、节约资源、能够防止环境污染等优点。

主权项

1.一种零排放酸性蚀刻废液循环再生方法，零排放酸性蚀刻废液循环系统，该系统包括蚀刻液处理系统、再生液循环系统、配液系统和氯气回收系统，蚀刻液处理系统包括蚀刻生产线（1）、母液储存罐（2）、电解槽和溶解吸收系统（6），电解槽包括阴极槽（3）、膜（4）和阳极槽（5），母液储存罐（2）、阴极槽（3）、阳极槽（5）、溶解吸收系统（6）依次连通，蚀刻生产线（1）分别与母液储存罐（2）和溶解吸收系统（6）连通，溶解吸收系统（6）与蚀刻生产线（1）连通；再生液循环系统包括再生液储罐（10）和再生液处理系统（11），阳极槽（5）、再生液储罐（10）、再生液处理系统（11）和蚀刻生产线（1）依次连通；配液系统包括再生液处理系统（11）和配液装置（12），再生液处理系统（11）、配液装置（12）和蚀刻生产线（1）依次连通；氯气回收系统包括洗气系统（7）和尾气处理系统（8），阳极槽（5）、洗气系统（7）和尾气处理系统（8）依次连通，所述的膜（4）为隔膜、阳离子膜或阴离子膜，所述的阴极槽（3）与洗铜装置（9）连接，所述的电解槽内设有离子浓度检测装置，所述的该系统内的装置以及管道都使用耐酸、耐碱、耐腐蚀的材料制成，所述的再生液处理系统（11）内设有酸度检测装置，配液装置（12）内设有酸度检测装置，其特征在于：将蚀刻废液中的金属铜在电解槽内电解回收并产生尾气，电解之后的蚀刻废液作为再生液循环利用，采用酸浓缩技术将再生液分离成高酸度的溶液和低酸度的溶液，高酸度的溶液直接回到蚀刻线上循环再用，低酸度的溶液配制成氧化剂后回到蚀刻线上添加，尾气经过处理后再制成含氯的有价产品，整个循环过程中无废液增量产生，实现真正的零排放，它包括如下几个步骤：S1、电解：使用电解槽对酸性蚀刻废液进行电解处理，电解槽内的阴极槽发生电化学还原反应得到电解铜，电解槽内的阳极槽发生电化学氧化将蚀刻液再生得到再生液，并有部分氯气产生；S2、氯气处理：蚀刻生产未在线运行时，阳极槽产生的氯气经过处理后制成含氯产品；蚀刻生产在线运行时，氯气与蚀刻废液再生成新的蚀刻液，直接循环应用到蚀刻生产线；S3、再生液处理：再生液进入再生液循环系统，被浓缩分离出高酸度的液体和低酸度的液体，高酸度的液体作为蚀刻液进入蚀刻生产线，低酸度的液体用来配制氧化剂。