[发明专利]感光膜旋转涂布装置在审
| 申请号： | 201510568196.9 | 申请日： | 2015-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN106493040A | 公开（公告）日： | 2017-03-15 |
| 发明（设计）人： | 任海 | 申请（专利权）人： | 四川虹视显示技术有限公司 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02;B05C11/08;B05C13/02 |
| 代理公司： | 成都宏顺专利代理事务所(普通合伙)51227 | 代理人： | 王伟 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种感光膜旋转涂布装置，包括卡盘、喷嘴、旋转轴和阻隔单元，阻隔单元包括水平部和侧壁部，侧壁部呈向上的倾斜状，越往上越接近卡盘，侧壁部的上端呈倒三角形。本发明所提供的感光膜旋转涂布装置，侧壁部的上端防止没在基板上面涂成而脱离的感光膜撞在侧壁部以微细粒子的形态弹到涂布在上述基板上的感光膜的位置上，以此防止涂布在上述基板上的感光膜不被上述粒子污染；而且，由于水平部与基板表面高度相同，因此在基板旋转的时候发生的涡流最小化，最后达到提高上述基板上面涂布的感光膜的涂布厚度均匀性的效果。因此，本发明可提高被旋转涂布的感光膜的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 感光 旋转 装置 | ||
【主权项】：
一种感光膜旋转涂布装置，包括以真空吸附方式支撑基板的卡盘，设于基板上方的喷嘴以及固定在卡盘的底部用于驱动卡盘旋转的旋转轴，其特征在于：还包括设于基板外围，固定在上述卡盘上，用于阻断、集结没在基板上面涂布而脱离基板散开的感光膜的阻隔单元；所述阻隔单元包括水平部和侧壁部，侧壁部呈向上的倾斜状，越往上越接近卡盘的中心，侧壁部的上端呈倒三角形。
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