[发明专利]玻璃基板的制造方法及玻璃基板的制造装置有效
| 申请号： | 201510549374.3 | 申请日： | 2015-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN105384354B | 公开（公告）日： | 2018-05-29 |
| 发明（设计）人： | 伊崎靖浩 | 申请（专利权）人： | 安瀚视特控股株式会社 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 林斯凯 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种玻璃基板的制造方法及玻璃基板的制造装置。本发明提供一种通过利用接触清洗单元去除玻璃基板上的含有清洁剂的液体而能够抑制黑色矩阵剥落的玻璃基板的制造方法等。本发明涉及一种表面形成黑色矩阵树脂的滤色片用的玻璃基板的制造方法，该方法具备以下步骤：清洗步骤，对玻璃基板供给含有添加有表面活性材料的无机碱系清洗剂的清洗液并进行清洗；冲洗步骤，使冲洗液渗透到清洗步骤中附着在所述玻璃基板的表面的清洗液中；及去除步骤，通过将在冲洗步骤中渗透有冲洗液的清洗液通入从玻璃基板的一端跨至另一端所设置的接触清洗单元，而去除该清洗液。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃基板 清洗液 去除 清洗 黑色矩阵 清洗单元 制造装置 冲洗液 制造 冲洗 清洁剂 清洗剂 表面活性材料 表面形成 滤色片 无机碱 树脂 剥落 附着 | ||
【主权项】：
1.一种玻璃基板的制造方法，其特征在于：其是表面形成黑色矩阵树脂的滤色片用玻璃基板的制造方法，并且具备如下步骤：清洗步骤，对所述玻璃基板供给包含添加有表面活性材料的无机碱系清洗剂的清洗液并进行清洗，冲洗步骤，使冲洗液渗透到在所述清洗步骤中附着在所述玻璃基板表面的清洗液中，及去除步骤，在所述冲洗步骤前，使所述玻璃基板通入设置在所述玻璃基板的一端跨至另一端且接触所述玻璃基板的第1夹辊，而去除所述清洗步骤中附著在所述玻璃基板表面的所述清洗液，并且，使所述玻璃基板通入设置在所述玻璃基板的一端跨至另一端且接触所述玻璃基板的第2夹辊，而去除在所述冲洗步骤中渗透有所述冲洗液的所述清洗液，在所述去除步骤中，以来自附着在所述玻璃基板的所述表面活性剂的有机物的附著量成为每1cm2 所述玻璃基板的表面为0.05ng～0.50ng的方式，调整所述第1夹辊以及所述第2夹辊压抵在所述玻璃基板上的力。
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