[发明专利]集成检测装置有效
| 申请号： | 201510548269.8 | 申请日： | 2015-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN105466816B | 公开（公告）日： | 2019-11-26 |
| 发明（设计）人： | S·洛伊;A·帕加尼 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N15/00 | 分类号： | G01N15/00 |
| 代理公司： | 11256 北京市金杜律师事务所 | 代理人： | 王茂华;董典红<国际申请>=<国际公布> |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 意大利;IT |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及集成检测装置。该检测装置形成在具有第一面、第二面和腔的半导体材料的本体中。检测区域形成在腔中，并且气泵集成在本体中并且被配置成迫使气体朝向检测区域运动。光学型检测系统或者阿尔法粒子检测器至少部分地布置在检测区域中。 | ||
| 搜索关键词： | 集成 检测 装置 | ||
【主权项】：
1.一种检测装置，包括：/n半导体材料的本体，具有第一面、第二面和腔，所述腔包括入口开口和出口开口；/n检测区域，在所述腔中；/n聚集区域，在所述腔中，所述聚集区域被耦合到所述检测区域，所述聚集区域包括比所述检测区域宽的横截面面积；/n气泵，被集成在所述本体中，所述气泵包括在所述入口开口处的第一栅格和在所述出口开口处的第二栅格，并且所述第一栅格和所述第二栅格被配置成迫使气体从所述聚集区域穿过所述腔朝向所述检测区域运动；以及/n检测系统，至少部分地被布置在所述检测区域中。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于意法半导体股份有限公司，未经意法半导体股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510548269.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：固定床分级气化连续制气炉
- 下一篇：一种新型陶瓷基板
