[发明专利]一种CO2射频激光器电极可调装置

摘要

本发明公开了一种CO₂射频激光器电极可调装置，包括真空腔体（1），真空腔体（1）内设置有上电极（3）、下电极（4），上电极（3）、下电极（4）之间通过匹配电感（5）连接，其特征在于：所述真空腔体（1）两侧对称固定设置有端盖（2），下电极（4）通过底板（6）与真空腔体（1）底部内壁固定，上电极（3）设置有高度调节装置，本发明的目的是而克服目前市场上传统的CO₂射频激光器电极在电极进行精加工安装后，电极之间的距离就无法再调整，当电极需要优化调整，则需要重新拆装激光器腔体甚至要修改相关器件的尺寸参数，由于激光器腔体为真空腔体，属于精密部件，上述调整方式不但需要借助专业器械和人员，而且会影响激光器腔体的精度。

主权项

 一种CO₂射频激光器电极可调装置，包括真空腔体（1），真空腔体（1）内设置有上电极（3）、下电极（4），上电极（3）、下电极（4）之间通过匹配电感（5）连接，其特征在于：所述真空腔体（1）两侧对称固定设置有端盖（2），下电极（4）通过底板（6）与真空腔体（1）底部内壁固定，上电极（3）设置有高度调节装置；所述的高度调节装置包括一组呈直角三角形设置的上调节滑块（7）、下调节滑块（8），上调节滑块（7）、下调节滑块（8）的斜面相对设置，且整体呈矩形形状，上调节滑块（7）与下调节滑块（8）的一侧直角边均设置有调节螺杆（10），调节螺杆（10）与真空腔体（1）两侧对称设置的端盖（2）可调连接；所述下调节滑块（8）底部两侧通过对称设置的绝缘瓷片（9）与上电极（3）上表面连接，上电极（3）沿长度方向侧端的中央位置设置有射频信号连接座（11）。