[发明专利]压印装置、照明光学系统及物品制造方法有效
| 申请号： | 201510493985.0 | 申请日： | 2015-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN105372932B | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 松本隆宏 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 11293 北京怡丰知识产权代理有限公司 | 代理人： | 迟军<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种压印装置、照明光学系统及物品制造方法。该压印装置包括：加热单元，其被构造为对所述基板上进行压印处理的压印区域加热并且改变所述压印区域的形状。所述加热单元包括：第一光学系统，其被构造为发射在与光轴垂直的第一方向和第二方向上扩展的光束；改变单元，其被构造为改变从所述第一光学系统发射的光束在所述第一方向与所述第二方向上的宽度的比率；以及强度分布调节单元，其被构造为调节所述比率已被改变的光束的强度分布；并且所述加热单元通过用来自所述强度分布调节单元的光束照射所述压印区域来加热所述压印区域。 | ||
| 搜索关键词： | 压印 装置 照明 光学系统 物品 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种压印装置，其通过使基板的压印材料与模具图案相互接触来进行在所述压印材料上形成图案的压印处理，所述压印装置包括：/n加热单元，其被构造为对所述基板上进行压印处理的压印区域加热并且改变所述压印区域的形状，/n其中，所述加热单元包括：/n第一光学系统，其被构造为发射在与光轴垂直的第一方向和第二方向上扩展的光束；/n改变单元，其被构造为改变从所述第一光学系统发射的光束在所述第一方向与所述第二方向上的宽度的比率；以及/n强度分布调节单元，其被构造为调节所述比率已被改变的光束的强度分布，并且/n其中，所述加热单元通过用来自所述强度分布调节单元的光束照射所述压印区域，来加热所述压印区域。/n
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