[发明专利]磁控溅射镀铝+加弧辉光渗铬+反冲离子注入制备Fe‑Al‑Cr合金层有效
| 申请号： | 201510475459.1 | 申请日： | 2015-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN105039978B | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | 姚正军;罗西希;张平则;周克印;张泽磊;陶学伟;李中;杜文博;方超 | 申请（专利权）人： | 南京航空航天大学 |
| 主分类号： | C23C28/02 | 分类号： | C23C28/02;C23C14/35;C23C10/10;C23C14/48 |
| 代理公司： | 南京钟山专利代理有限公司32252 | 代理人： | 戴朝荣 |
| 地址： | 210016 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于金属表面改性领域，具体涉及采用磁控溅射镀Al、加弧辉光渗Cr和反冲离子注入相结合，制备合金元素均匀分布的Fe‑Al‑Cr涂层，具体步骤如下步骤1首先对不锈钢表面进行表面预处理，经超声清洗后烘干；步骤2采用磁控溅射技术镀Al；步骤3采用加弧辉光技术渗Cr；步骤4采用反冲离子注入技术轰击材料表面的薄膜。本发明能够避免涂层表面沉积层纯Cr的形成以及亚表面附近高Al脆性相的析出，保证Fe、Al、Cr三种合金元素沿截面方向均匀分布，提高涂层的使用寿命，改善其抗高温氧化性和耐摩擦磨损性能。 | ||
| 搜索关键词： | 磁控溅射 镀铝 辉光 反冲 离子 注入 制备 fe al cr 合金 | ||
【主权项】：
磁控溅射镀铝+加弧辉光渗铬+反冲离子注入制备Fe‑Al‑Cr合金层的方法，其特征在于，具体步骤如下：步骤1：首先对不锈钢表面进行表面预处理，经超声清洗后烘干；步骤2：采用磁控溅射技术镀Al；步骤3：采用加弧辉光技术渗Cr；步骤4：采用反冲离子注入技术轰击材料表面的薄膜。
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