[发明专利]硅块检测用的卡盘装置

摘要

本申请公开了一种硅块检测用的卡盘装置，所述卡盘的顶面凹设形成有凹槽，所述卡盘装置的顶端安装有硅块固定装置，所述硅块固定装置包括上下依次连接的硅胶层、支撑板和凸块，所述凸块的外形尺寸与所述凹槽匹配，所述凸块可拆卸卡持于所述凹槽内。本发明中，硅胶皮因其具有较好的吸附性，可对硅块起到定位作用，同时硅胶皮可以在卡盘原地旋转时起到阻止硅块发生位错的现象，硅块可以在硅胶皮上摆放成各种角度进行测量，不受卡盘尺寸的限制；环状凸块通过扣合的方式嵌在卡盘凹槽内，便于装置安装和拆卸，使用户根据需要，决定是否使用检测硅块顶底部的卡盘用装置，使用方便。

主权项

一种硅块检测用的卡盘装置，所述卡盘的顶面凹设形成有凹槽，其特征在于：所述卡盘装置的顶端安装有硅块固定装置，所述硅块固定装置包括上下依次连接的硅胶层、支撑板和凸块，所述凸块的外形尺寸与所述凹槽匹配，所述凸块可拆卸卡持于所述凹槽内。