[发明专利]一种水冷压电变形镜有效
申请号: | 201510445634.2 | 申请日: | 2015-07-27 |
公开(公告)号: | CN105022162B | 公开(公告)日: | 2017-11-10 |
发明(设计)人: | 马剑强;田雷;陈凯 | 申请(专利权)人: | 宁波大学 |
主分类号: | G02B26/06 | 分类号: | G02B26/06 |
代理公司: | 杭州千克知识产权代理有限公司33246 | 代理人: | 黄芳 |
地址: | 315211 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 一种水冷压电变形镜,包括镜体,镜体支撑件和压电片,镜体支撑件中设有容纳冷却液的冷却腔,冷却腔具有冷却液入口和冷却液出口,镜体设置于镜体支撑件顶部以封闭冷却腔;压电片呈环形,压电片作为边框固定于镜体;压电片与镜体之间设置第一电极,压电片的上表面设置第二电极;镜体未被压电片覆盖的部分作为镜体的工作区域;镜体和镜体支撑件固定。本发明具有压电片直接与镜体接触,且不与冷却液接触的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 水冷 压电 变形 | ||
【主权项】:
一种水冷压电变形镜,包括镜体,镜体支撑件和压电片,镜体支撑件中设有容纳冷却液的冷却腔,冷却腔具有冷却液入口和冷却液出口,镜体设置于镜体支撑件顶部以封闭冷却腔;其特征在于:压电片呈环形,压电片作为边框固定于镜体;压电片与镜体之间设置第一电极,压电片的上表面设置第二电极;镜体未被压电片覆盖的部分作为镜体的工作区域;镜体和镜体支撑件固定。
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