[发明专利]一种对红外光线过滤效果好的红外截止滤光片

摘要

本发明公开的一种对红外光线过滤效果好的红外截止滤光片，包括基底层，所述基底层的两侧面上分别镀有复合膜层，所述复合膜层由高折射率材料膜层和低折射率材料膜层交替形成，其中高折射率材料膜层为采用二氧化钛镀膜形成的，低折射率材料膜层为采用二氧化硅镀膜形成的，其特征在于，所述二氧化钛镀膜速度为3‑3.5埃/秒，所述二氧化硅镀膜速度为10‑14埃/秒。本发明的红外截止滤光片可见光400～700nm的平均透过率大于99％，近红外波段800～1400nm的平均透过率为15‑20％。

主权项

一种对红外光线过滤效果好的红外截止滤光片，包括基底层，所述基底层的两侧面上分别镀有复合膜层，所述复合膜层由高折射率材料膜层和低折射率材料膜层交替形成，其中高折射率材料膜层为采用二氧化钛镀膜形成的，低折射率材料膜层为采用二氧化硅镀膜形成的，其特征在于，所述二氧化钛镀膜速度为3.5埃/秒，所述二氧化硅镀膜速度为12埃/秒；所述基底层两侧的复合膜层厚度为：100～10000nm；所述对红外光线过滤效果好的红外截止滤光片生产方法如下：(1)基底层100镀膜前预处理：将基底层100放入清洗剂中辅以超声波振荡清洗，共4槽，每槽5分钟，经过淋洗后放入10M以上的去离子水溢流漂洗，并由红外热源进行干燥，从而使基底层100表面污渍被洗净，没有水迹和残留物；(2)基底层100表面预处理：将基底层100固定在镀膜机的行星夹具上，在镀膜机的真空系统中通入氩气和氧气，以1.5KW功率将气体电离，氩原子和氧原子轰击树脂镜片表面产生清洗作用；(3)真空镀膜：启动镀膜机真空系统，待本底真空降至2.0x10‑3Pa以下；打开氩气气路，使硅靶在氩离子中放电1分钟，去除靶面的氧化物；向真空室通入氩气、氧气的混合气体，利用空气质量流量计控制气体流量，其中氩气流量为5SCCM，氧气流量为40SCCM，使工作压强稳定在2Pa，旋转工件架，温度保持在常温，溅射功率控制在1500W，沉积SiO2薄膜，沉积镀膜速度为12埃/秒并保持稳定；再向真空室通入氩气、氮气的混合气体，利用空气质量流量计控制气体流量，其中氩气流量为10SCCM，氮气流量为50SCCM，使压强稳定在2.5Pa左右，溅射功率控制在2000W，沉积TiO2薄膜，沉积镀膜速度为3.5埃/秒并保持稳定；交替沉积SiO2薄膜和TiO2薄膜，使得基底层100上两个相邻膜层系低折射率薄膜SiO2和高折射率薄膜TiO2的堆栈；为避免连续溅射中树脂镜片温度快速升高导致薄膜龟裂，在每沉积500nm左右的薄膜材料后，中断溅射进程，封闭真空系统并向其中通入氩气，使镜片上积累的热量快速向外传导，待冷却2分钟后重新启动溅射进程；经过上述工艺过程，成品即为所述对红外光线过滤效果好的红外截止滤光片；该对红外光线过滤效果好的红外截止滤光片可见光400～700nm的平均透过率大于99％，近红外波段800～1400nm的平均透过率为15‑20％。