[发明专利]真空多室表面活化辅助连接复合装备

摘要

本发明公开了一种真空多室表面活化辅助连接复合装备，其特征是离子轰击去膜室、磁控溅射镀膜室以及真空焊接室分别从不同方向通过金属管道与焊件装配室连通，金属管道上安装有实现各真空室的连通与隔断的闸阀，焊件装配室中央设有可旋转的、工作臂可分别伸进各室的焊件装配机器人，焊件装配机器人一侧的焊件装配室内设有内部安装焊件托架，内部安装焊件托架一侧的焊件装配室壁上设有手套接口，手套接口上部的焊件装配室壁上设有一个观察口，各室设有真空获得系统并由控制系统控制，本发明各真空室又可单独使用并可配合焊件装配机器人，可以实现复杂构件或多层构件的一次真空焊接，不仅改善焊接接头质量，而且大幅提高焊接效率，适用于材料的真空活化连接。

主权项

一种真空多室表面活化辅助连接复合装备，其特征在于包括离子轰击去膜室、磁控溅射镀膜室、真空焊接室、焊件装配室、焊件装配机器人、真空获得系统以及控制系统，离子轰击去膜室、磁控溅射镀膜室以及真空焊接室分别从不同方向通过金属管道与焊件装配室连通，金属管道上安装有实现各真空室的连通与隔断的闸阀门，焊件装配室中央设有可旋转的、工作臂可分别伸进离子轰击去膜室、磁控溅射镀膜室和真空焊接室的焊件装配机器人，焊件装配机器人一侧的焊件装配室内设有内部安装焊件托架，内部安装焊件托架一侧的焊件装配室壁上设有手套接口，手套接口上部的焊件装配室壁上设有一个观察口，离子轰击去膜室、磁控溅射镀膜室、真空焊接室和焊件装配室分别设有真空获得系统，离子轰击去膜室、磁控溅射镀膜室、真空焊接室、焊件装配室、焊件装配机器人及真空获得系统的控制装置由控制系统控制；离子轰击去膜室设置在支架上，离子轰击去膜室侧壁上设有接口，接口经金属管道与焊件装配室相连通，金属管道上安装有连通与隔断的阀门，离子轰击去膜室另一侧壁和上壁分别设有一个观察口和接口离子源，离子轰击去膜室内的工作台面上设有行走机构、焊件托盘及加热器；行走机构由履带、滚轮和驱动电机组成，驱动电机与主动滚轮连接，实现行走传动，将焊件输送到焊件托盘，焊件托盘上设有加热器；磁控溅射镀膜室侧壁上设有接口，接口经金属管道与焊件装配室相连通，金属管道上安装有连通与隔断的阀门，磁控溅射镀膜室的上侧壁设有溅射靶接口，磁控溅射镀膜室内的工作台面上设有行走机构、焊件托盘及加热器；真空焊接室侧壁上设有接口，接口经金属管道与焊件装配室相连通，金属管道上安装有连通与隔断的阀门，真空焊接室内的工作台面上设有加压装置、分体式加热体，分体式加热体中的下加热体置于工作台面下部，上加热体连接在台面上的升降装置上，真空焊接室侧壁上设有炉门，炉门上设有观察口；焊件装配室的左侧面设有离子轰击去膜室接口、后面上设有磁控溅射镀膜室接口、右侧面上设有真空焊接室接口、前面上设有前置手套接口，手套接口上部设有观察口，焊件装配室内的工作台面上安装焊件托架，以协助焊接机器人完成焊件翻转及装配。