[发明专利]一种晶体生长过程的加热电源控制方法有效
| 申请号： | 201510392351.6 | 申请日： | 2015-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN104965538B | 公开（公告）日： | 2018-04-13 |
| 发明（设计）人： | 王军;卜俊鹏 | 申请（专利权）人： | 四川英杰电气股份有限公司;卜俊鹏 |
| 主分类号： | G05D23/19 | 分类号： | G05D23/19 |
| 代理公司： | 四川力久律师事务所51221 | 代理人： | 王芸,熊晓果 |
| 地址： | 618000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种晶体生长过程的加热电源控制方法。在所述晶体的熔料阶段和/或退火阶段，加热电源采用周期脉冲控制；所述周期脉冲控制是指，将所述加热电源的输出功率幅值及脉冲周期固定，通过调节每个脉冲周期内的脉冲占空比控制所述加热电源的每个脉冲周期内的输出功率。本发明通过控制加热电源在退火阶段采用周期脉冲控制方式降低能耗，达到能效果。本发明适用于晶体生长领域电源，特别适用于蓝宝石晶体生长加热电源的控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶体生长 过程 加热 电源 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种晶体生长过程的加热电源控制方法，其特征在于，在所述晶体的熔料阶段和/或退火阶段，加热电源采用周期脉冲控制；所述周期脉冲控制是指，将所述加热电源的输出功率幅值及脉冲周期固定，通过调节每个脉冲周期内的脉冲占空比控制所述加热电源的每个脉冲周期内的输出功率；所述脉冲周期内加热电源的功率输出时间tp通过下式计算得到：tp=∫t1t2P(t)dtPe;]]>其中，t2‑t1＝Tn，Tn为单位脉冲周期，P(t)为采用直流连续输出方式时所述加热电源在t1至t2时刻的输出功率函数，Pe为所述加热电源在周期脉冲控制模式下的固定输出功率，tp为加热电源在单位脉冲周期内输出功率的时间。
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