[发明专利]一种低摩擦系数的CrTiAlCN耐磨镀层及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201510353060.6 申请日: 2015-06-24
公开(公告)号: CN104894512B 公开(公告)日: 2017-07-14
发明(设计)人: 胡鹏飞;蒋百灵;贾贵西;郭福全;余东升;范吉昌 申请(专利权)人: 洛阳理工学院
主分类号: C23C14/06 分类号: C23C14/06;C23C14/35;C23C14/00
代理公司: 北京中原华和知识产权代理有限责任公司11019 代理人: 寿宁,张华辉
地址: 471000 河*** 国省代码: 河南;41
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摘要: 发明是有关于一种低摩擦系数CrTiAlCN耐磨镀层及其制备方法,该制备方法为采用四靶直流反应磁控溅射的方法,以固体石墨靶为碳源,制备出掺杂碳主要以非晶态结构与CrTiAlN基体呈纳米层状结构交替分布的掺碳改性类CrTiAlCN镀层,具有优良的摩擦学性能,其镀层元素含量为21.13~35.71%Cr,4.96~10.32%Ti,0.94~6.05%Al,25.11~47.24%N,3.19~47.86%C。本发明制备的CrTiAlCN镀层较传统的CrTiAlN镀层具有更低的摩擦系数的更优良的摩擦学性能,作为各种工模具表面的耐磨镀层有着广泛的应用前景。
搜索关键词: 一种 摩擦系数 crtialcn 耐磨 镀层 及其 制备 方法
【主权项】:
一种低摩擦系数的CrTiAlCN耐磨镀层,其特征在于所述CrTiAlCN耐磨镀层中元素含量分别为:27.58%Cr,9.84%Ti,6.05%Al,44.92%N,11.61%C;所述CrTiAlCN耐磨镀层的表面粗糙度为6.944E‑01nm,显微硬度为2735HV,对钢的摩擦系数为0.5,与GCr15钢球对磨时的磨损率为3.18×10‑15m3/mN;所述CrTiAlCN耐磨镀层采用以下方法制备:以固体石墨靶为碳源,固定Cr、Ti、Al靶的溅射电流分别为2A、1.5A、1.5A,石墨靶电流为0.9A,以Ar为溅射气体,N2为反应气体,Ar由质量流量计控制,为20~25sccm,N2由光反射法OEM控制,其值为50,最终制备得到所述的CrTiAlCN耐磨镀层。
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