[发明专利]钛合金表面耐磨Cr‑Si复合涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201510340189.3 | 申请日： | 2015-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN104988460B | 公开（公告）日： | 2017-09-19 |
| 发明（设计）人： | 缪强;王昉;梁文萍;贲能军;陆海峰;任蓓蕾;裴秋旭 | 申请（专利权）人： | 南京航空航天大学 |
| 主分类号： | C23C14/16 | 分类号： | C23C14/16;C23C14/34;B32B15/04;B32B9/00 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所32237 | 代理人： | 贺翔,杨文晰 |
| 地址： | 210016 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种钛合金表面耐磨Cr‑Si复合涂层及其制备方法，所述复合涂层分四层结构，由外至内依次为Si沉积层、Cr‑Si金属间化合物过渡层、Cr沉积层和Cr扩散层；本发明首次利用两次单独渗Cr、Si的方法，解决了辉光共渗技术中Si难以溅射、涂层硬度不易控制的难题，所获得的复合涂层与基体的结合强度高，涂层均匀致密、连续、没有裂纹，极大提高了钛合金的耐磨性能，同时该方法可以分别调节两次渗入的源极阴极电压、保温时间等参数，按需求得到不同厚度的合金涂层，方便进行实验工艺探究工作。 | ||
| 搜索关键词： | 钛合金 表面 耐磨 cr si 复合 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种钛合金表面耐磨Cr‑Si复合涂层，其特征在于，所述复合涂层从表层由外至内依次为Si沉积层、Cr‑Si金属间化合物过渡层、Cr沉积层和Cr扩散层；所述钛合金表面耐磨Cr‑Si复合涂层的制备方法如下： （a）将钛合金和Cr靶材装入双辉等离子表面合金化装置中，以钛合金为阴极，以Cr靶材为源极；（b）抽真空，送入氩气，启动辉光，调试工艺参数为：源极电压：900‑1000 V ；阴极电压：350‑450 V ；氩气气压：30‑35 Pa ；靶材与工件间距：15‑20mm;保温时间：3‑3.5 h ；（c）保温结束后，降低源极和阴极电压至0V，断电，抽真空，装置冷却至室温，完成Cr扩散层和Cr沉积层的制备；（d）更换Si靶材为源极，重复步骤（b）和步骤（c），完成Cr‑Si金属间化合物过渡层和Si沉积层的制备，即获得耐磨Cr‑Si复合涂层。
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