[发明专利]一种多晶硅铸锭用石英坩埚的氮化硅喷涂工艺及装置有效
| 申请号： | 201510334557.3 | 申请日： | 2015-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN104926149B | 公开（公告）日： | 2017-08-11 |
| 发明（设计）人： | 钟铮 | 申请（专利权）人： | 重庆大全新能源有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/22 | 分类号： | C03C17/22 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 李海建 |
| 地址： | 404000 *** | 国省代码： | 重庆;85 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多晶硅铸锭用石英坩埚的氮化硅喷涂工艺，包括步骤1)将氮化硅粉末、硅溶胶和去离子水混合形成乳浆状溶液；2)对步骤1)中的溶液进行搅拌并加热；3)将加热后的溶液喷涂到坩埚内表面，常温下干燥形成氮化硅膜喷涂层，通过加入硅溶胶，能够使氮化硅粉强有力地吸附在坩埚内壁，迅速有效的吸附水分，缩短水分挥发时间，在常温下干燥2h后即可在坩埚内壁形成一层致密的氮化硅涂层，这种工艺耗时短，效率高，能耗低，能够缩短多晶硅铸锭的生产周期，容易操作，形成的涂层更均匀，有助于保护多晶硅铸锭及坩埚，提高产品质量，延长坩埚使用寿命，降低生产成本。本发明还公开了一种多晶硅铸锭用石英坩埚的氮化硅喷涂工艺所用的装置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 铸锭 石英 坩埚 氮化 喷涂 工艺 装置 | ||
【主权项】：
一种多晶硅铸锭用石英坩埚的氮化硅喷涂工艺，其特征在于，包括步骤：1)将超纯氮化硅粉末、硅溶胶和去离子水混合形成乳浆状溶液，所述超纯氮化硅粉末、所述硅溶胶和所述去离子水的质量配比为1：1：1.5；2)对步骤1)中的乳浆状溶液进行搅拌并加热；3)将加热后的所述溶液喷涂到坩埚内表面，常温下干燥形成氮化硅膜喷涂层。
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