[发明专利]霍尔传感器在审
申请号: | 201510330421.5 | 申请日: | 2015-06-15 |
公开(公告)号: | CN105185900A | 公开(公告)日: | 2015-12-23 |
发明(设计)人: | 福中敏昭;笠松新 | 申请(专利权)人: | 旭化成微电子株式会社 |
主分类号: | H01L43/06 | 分类号: | H01L43/06;H01L43/10;H01L43/14 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种即使在无岛构造的霍尔传感器中使GaAs霍尔元件小型化和薄型化的情况下也能够防止漏电流的增大的霍尔传感器。具备:GaAs霍尔元件(10),其具备设置在GaAs衬底(11)上的感磁部(12)、电极部(13a~13d)、以及设置在GaAs衬底的与设置有电极的面相反一侧的面侧的保护层(40);引线端子(22~25),其配置在GaAs霍尔元件的周围;金属细线(31~34),其将电极与引线端子分别电连接;以及模制构件(50),其对上述部件进行模制。保护层和引线端子的第一面(即同与金属细线连接的面相反一侧的面)从模制构件(50)的同一面露出。GaAs衬底的电阻率为5.0×107Ω·cm以上。 | ||
搜索关键词: | 霍尔 传感器 | ||
【主权项】:
一种霍尔传感器,具备:GaAs霍尔元件,其具备GaAs衬底、设置在上述GaAs衬底上的感磁部、设置在上述GaAs衬底上的多个电极部、以及设置在上述GaAs衬底的与设置有上述多个电极部的面相反一侧的面侧的保护层;多个引线端子,其配置在上述GaAs霍尔元件的周围;导电性连接构件,其将上述多个电极部与上述多个引线端子分别电连接;以及模制构件,其对上述GaAs霍尔元件、上述多个引线端子以及上述导电性连接构件进行模制,其中,在将上述多个引线端子所具有的多个面中的、同与上述导电性连接构件连接的面相反一侧的面作为上述多个引线端子的第一面时,上述保护层和上述多个引线端子的上述第一面从上述模制构件的同一面露出,上述GaAs衬底的电阻率为5.0×107Ω·cm以上。
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