[发明专利]调节激光光斑大小与靶材定位的装置及其方法有效
| 申请号： | 201510319294.9 | 申请日： | 2015-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN104874913A | 公开（公告）日： | 2015-09-02 |
| 发明（设计）人： | 冯爱新;薛伟;印成;李峰平;张津超;陆金花;张健;朱德华;曹宇;瞿建武 | 申请（专利权）人： | 温州大学 |
| 主分类号： | B23K26/073 | 分类号： | B23K26/073 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人： | 王玉国 |
| 地址： | 325035 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及调节激光光斑大小与靶材定位的装置及方法，用于夹持相纸的夹具置于升降台上，升降台安装于X-Y运动工作台上，X-Y运动工作台位于多螺纹孔工作台底座上，伺服电机与X-Y运动工作台和升降台驱动连接，激光器的输出光路上设置光路系统，光路系统的输出端正对于夹具所夹持的相纸，激光器的光路输出端还布置有用于接收光信号的光电传感器，光电传感器连接至工控机，工控机与伺服电机控制连接。利用激光冲击波作用在相纸上形成的离散斑点，精密测量，逐级逼近所需的光斑大小；利用薄膜来定位靶材；利用测量离散斑点的尺寸来逼近所需斑点尺寸。 | ||
| 搜索关键词： | 调节 激光 光斑 大小 定位 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
调节激光光斑大小与靶材定位的装置，其特征在于：包括激光器、光电传感器、光路系统、相纸、夹具、升降台、X‑Y运动工作台、多螺纹孔底座、伺服电机和工控机，用于夹持相纸的夹具置于升降台上，升降台安装于X‑Y运动工作台上，X‑Y运动工作台位于多螺纹孔工作台底座上，伺服电机与X‑Y运动工作台和升降台驱动连接，激光器的输出光路上设置光路系统，光路系统的输出端正对于夹具所夹持的相纸，激光器的光路输出端还布置有用于接收光信号的光电传感器，光电传感器连接至工控机，工控机与伺服电机控制连接。
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