[发明专利]加工装置

摘要

本发明提供一种加工装置，使对工件进行加工的加工部与装置的结构不发生干涉而能够以高尺寸精度将工件的外周部加工成任意的形状。对工件进行加工的加工装置具备：第一加工部，具有第一主轴及第一工具；第二加工部，具有第二主轴及第二工具；及固定装置。第一加工部及第二加工部的每一个与固定装置能够在x方向及y方向上相对移动。固定装置具有第一固定部和第二固定部。第一加工部在第一区域对工件的外周部进行加工的情况下，第一固定部位于第一加工部不干涉的区域即第一不干涉区域，第二加工部在第二区域对工件的外周部进行加工的情况下，第二固定部位于第二加工部不干涉的区域即第二不干涉区域。

主权项

1.一种加工装置，对薄膜的层叠体进行加工，其特征在于，具备：第一加工部，具有：第一主轴，以z方向为旋转轴而使工具旋转；及第一工具，在与z方向平行的面上设有切削刃，且使前端朝向z方向的一方而安装于所述第一主轴；第二加工部，具有：第二主轴，以z方向为旋转轴而使工具旋转；及第二工具，在与z方向平行的面上设有切削刃，且使前端朝向z方向的另一方而安装于所述第二主轴；及固定装置，在z方向上将所述薄膜的层叠体夹持而固定，所述第一加工部及所述第二加工部的每一个与所述固定装置能够在与z方向正交的x方向及与x方向和z方向正交的y方向上相对移动，所述第一加工部相对于所述薄膜的层叠体位于z方向的另一侧，所述第二加工部相对于所述薄膜的层叠体位于z方向的一侧，所述固定装置具有相对于所述薄膜的层叠体从z方向的另一侧将所述薄膜的层叠体固定的第一固定部和相对于所述薄膜的层叠体从z方向的一侧将所述薄膜的层叠体固定的第二固定部，所述第一固定部具备将所述薄膜的层叠体固定的第一工件固定部和对所述第一工件固定部进行支承的第一支承部，所述第二固定部具备将所述薄膜的层叠体固定的第二工件固定部和对所述第二工件固定部进行支承的第二支承部，所述第一支承部相对于所述薄膜的层叠体位于z方向的另一侧，且位于从z方向观察到的所述第一工件固定部的端部侧，所述第二支承部相对于所述薄膜的层叠体位于z方向的一侧，且位于从z方向观察到的所述第二工件固定部的与所述第一工件固定部的所述端部侧相反的一侧的端部侧，所述第一加工部及所述第二加工部通过旋转的所述第一工具及所述第二工具的所述切削刃对从z方向观察到的所述工件的外周部进行加工。