[发明专利]光刻装置和物品制造方法有效
| 申请号： | 201510293935.8 | 申请日： | 2015-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN105319861B | 公开（公告）日： | 2017-11-24 |
| 发明（设计）人： | 宫岛义一;中野一志 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人： | 柳爱国 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种光刻装置包括原版传送路线、基板传送路线和多个图形形成设备，每个图形形成设备被构造用于使用原版在基板上进行图形形成。所述多个图形形成设备布置成两列。基板传送路线在所述两列之间并沿所述两列提供。原版传送路线提供在两列中的每列上，在两列原版传送路线之间并沿着两列原版传送路线布置两列图形形成设备。一种物品制造方法。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 装置 物品 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种光刻装置，所述光刻装置包括：多个图形形成设备，所述多个图形形成设备布置成两列，每个图形形成设备被构造用于使用原版在基板上进行图形形成，基板传送路线，所述基板传送路线被构造用于将基板传送到所述多个图形形成设备中的一个，所述基板传送路线的至少一部分在所述两列之间并沿所述两列布置；和原版传送路线，所述原版传送路线被构造用于将原版传送到所述多个图形形成设备中的一个，其中沿着所述两列布置所述原版传送路线的两个部分中的每个，所述原版传送路线的两个部分中的每个相对于所述两列中的与之对应的一列与所述基板传送路线的所述至少一部分相对，所述原版传送路线包括连接部分，所述连接部分被构造用于连接所述两个部分。
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