[发明专利]一种检测清洗液使用程度的方法和系统有效
| 申请号： | 201510289389.0 | 申请日： | 2015-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN104849347B | 公开（公告）日： | 2018-03-09 |
| 发明（设计）人： | 高博;王秀荣;张浩;李亚飞 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N29/032 | 分类号： | G01N29/032 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种检测清洗液使用程度的方法和系统，涉及基板制备技术领域，为解决选择更换清洗液的节点的准确性差的问题。所述检测清洗液使用程度的方法包括将扭转模态超声导波通入清洗液中；接收返回导波，返回导波为扭转模态超声导波未泄露到清洗液中且返回的部分；获取返回导波的能量，检测返回导波的能量是否小于或等于预设标准能量，预设标准能量为需要更换的清洗液对应的返回导波的能量；若返回导波的能量小于或等于预设标准能量，则确定更换清洗液。本发明提供的检测清洗液使用程度的方法和系统用于在清洗玻璃基板的过程中判断清洗液的使用程度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 清洗 使用 程度 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种检测清洗液使用程度的方法，其特征在于，包括：将扭转模态超声导波通入清洗液中；接收返回导波，所述返回导波为所述扭转模态超声导波未泄露到所述清洗液中且返回的部分；获取所述返回导波的能量，检测所述返回导波的能量是否小于或等于预设标准能量，所述预设标准能量为需要更换的清洗液对应的返回导波的能量；若所述返回导波的能量小于或等于预设标准能量，则确定更换所述清洗液；在检测所述返回导波的能量是否小于或等于预设标准能量的步骤之前，还包括：将所述扭转模态超声导波通入需要更换的清洗液中；接收标准返回导波，所述标准返回导波为所述扭转模态超声导波未泄露到需要更换的清洗液中且返回的部分；根据接收的所述标准返回导波，获取所述预设标准能量。
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