[发明专利]一种射频发生器的控制电路与检测系统

摘要

本发明提供了一种射频发生器的控制电路与检测系统。其中，该控制电路包括连接器、条件生成电路和电源模块；该电源模块与条件生成电路电连接，为条件生成电路提供设定的电压；条件生成电路通过连接器与射频发生器连接，为射频发生器提供作业条件。通过本发明，可以为射频发生器单独提供作业条件，从而实现对射频发生器单独进行检修，从而避免损坏精密仪器中的其他部件。

主权项

一种射频发生器的控制电路，其特征在于，所述控制电路包括：连接器、条件生成电路和电源模块；所述电源模块与所述条件生成电路电连接，为所述条件生成电路提供设定的电压；所述条件生成电路通过所述连接器与射频发生器连接，为所述射频发生器提供作业条件，所述作业条件包括所述射频发生器的额定电压、额定电流和额定功率；其中，所述条件生成电路包括偏压控制模块、第一中继模块、第二中继模块和点火模块；所述偏压控制模块的一端与所述电源模块连接，所述偏压控制模块的另一端与所述连接器的输入端包括的电压偏压控制的引脚连接；所述第一中继模块的一端与地线连接，所述第一中继模块的另一端与所述连接器的输入端包括的第一继电器引脚连接；所述第二中继模块的一端与所述电源模块连接，所述第二中继模块的另一端与所述连接器的输入端包括的第二继电器引脚连接；所述点火模块的一端与所述电源模块连接，所述点火模块的另一端与所述连接器的输入端包括的数字接地的引脚连接。