[发明专利]应用压电元件的微型工作台

摘要

本文公开了一种微型工作台，该微型工作台使用压电元件以使得该微型工作台能被可靠地操作，即使在真空环境下。在要求高精度的粒子柱中，例如，微电子柱，所述微型工作台能够被用作具有微米级或纳米级精度的工作台，以校准所述柱的部件，或者用于移动试样等。

主权项

1.微型工作台，该微型工作台包括用于移动目标的移动体和主体压电基底，所述移动体可移动地接合所述主体压电基底，其中，所述主体压电基底包括用于对所述移动体施压的侧面加压单元，所述移动体的与所述主体压电基底的相应所述侧面加压单元相接触的部分具有倾斜面，一个或多个所述侧面加压单元包括侧面加压体、侧面压电元件以及向内加压压电元件，所述侧面加压体向所述移动体施压，所述侧面压电元件与所述侧面加压体接触以移动所述移动体，所述向内加压压电元件设置在所述侧面压电元件上以朝向所述移动体施压所述侧面加压体，与所述侧面压电元件相接触的所述向内加压压电元件以纵向模式被操作并且通过根据向所述向内加压压电元件提供电压而压迫和释放所述移动体，并且所述侧面压电元件以剪切模式被操作并且横向地移动移动体，并且从所述主体压电基底的相对的所述侧面加压单元向所述移动体的相对侧施加压迫力，从而在倾斜方向上对所述移动体施压，使得当所述移动体移动时，所述移动体施压于所述主体压电基底上。