[发明专利]一种大行程高速多级驱动倾斜镜

摘要

本发明公开了一种大行程高速多级驱动倾斜镜，该倾斜镜包括反射镜面，多级高速驱动器，底座。多级高速驱动器的一端与反射镜面的背面胶接，另一端与底座胶接，组合完成倾斜镜整体。其中每个多级高速驱动器均由多个高速驱动器串联组成，采用四个多级高速驱动器对称分布在底座上并支撑起反射镜面。多级驱动器分别由多路高压放大器来控制，驱动反射镜面按照目标方向产生快速偏转。大行程高速多级驱动倾斜镜将高速和大行程两种功能通过多级驱动器分开实现，可以在同一个倾斜镜上兼顾实现高速响应和大行程控制两种需求。

主权项

一种大行程高速多级驱动倾斜镜，其特征在于：包括反射镜面(1)，多级高速驱动器(2)，底座(3)；该倾斜镜的组装方式是：反射镜面(1)的背面与多级高速驱动器(2)一端胶接，多级高速驱动器的另一端与底座(3)胶接，组合完成倾斜镜整体；控制信号经高压放大器分别驱动多级高速驱动器(2)，控制信号是多级高速驱动器(2)级数的两倍，假定存在N级高速驱动器，则需要2N路控制信号，N路用于控制镜面沿水平方向偏转，另外的N路用于控制镜面沿竖直方向偏转，N为大于0的正整数；所述多级高速驱动器的每一个驱动器均由多个高速驱动器串联组成，每个高速驱动器能被单独控制，或者能被合并控制；四个多级高速驱动器对称分布在底座(3)上并支撑起反射镜面(1)。