[发明专利]直流级联弧等离子体炬清洗托卡马克第一镜的方法

摘要

本发明提供一种直流级联弧等离子体炬清洗托卡马克第一镜的方法，包括以下步骤：预先设定工作气体以及测定标准灯的发射光谱；相继打开真空设备、水冷设备和进气设备，完成直流级联弧等离子体炬放电的准备工作；放电产生直流级联弧等离子体炬，并对第一镜样品进行清洗；改变相关清洗参数，对第一镜样品实施个性化清洗；清洗一定时间后原位检测第一镜样品反射率恢复情况，根据检测结果确定是否继续清洗；如果需要继续清洗，则重复清洗直至达到清洗要求。本发明采用的直流级联弧等离子体炬可调放电参数多、方向性好、无杂质，能实现大面积、长距离、均匀快速去除第一镜表面的杂质沉积层，并完成在线检测反射率。

主权项

一种直流级联弧等离子体炬清洗托卡马克第一镜的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤A：根据待清洗第一镜样品的污染物成分，设定使用工作气体种类；测定标准灯的发射光谱以及待清洗第一镜样品的反射光谱；将待清洗第一镜样品固定在位于真空腔室内的水冷支架上；步骤B：将真空腔室抽至放电所需真空状态并维持之；打开水冷系统为需要冷却的部件提供冷却水；打开供气单元，为级联源提供工作气体；步骤C：触发电源开关，进行高频引弧，将通入到级联源的工作气体击穿电离；引弧结束，由直流电源维持放电；被电离的气体由级联源环状阳极的中心喷口喷出，进入与级联源相连的真空中，形成直流级联弧等离子体炬；所述直流级联弧等离子体炬加载到第一镜样品的杂质沉积层表面，以清洗第一镜样品；步骤D：通过直流电源、真空蝶阀以及质量流量计分别调节放电电流、真空腔室气压以及工作气体流速参数，以获得不同的直径、长度、等离子体温度以及等离子体密度的直流级联弧等离子体炬；步骤E：当第一镜样品被清洗一定时间后，停止清洗，原位检测第一镜样品的反射率；根据第一镜样品反射率恢复情况，决定是否继续清洗；如果达到清洗要求，则完成第一镜样品的清洗；如果未达到清洗要求，则重复步骤C、步骤D，直至达到清洗要求。