[发明专利]一种测试复合硅衬底上多层石墨烯样品层数的方法

摘要

本发明公开了一种测试复合硅衬底上多层石墨烯样品层数的方法，包括如下步骤利用椭圆偏光仪获得SiO2/Si衬底表面SiO2层的厚度，在SiO2/Si衬底上通过微机械剥离方法或各种转移方法获得多层石墨烯样品，利用显微拉曼谱仪分别测试SiO2/Si衬底被和未被石墨烯样品覆盖部分的一阶硅拉曼信号强度比I(SiG)/I(Si0)，与理论计算结果进行对照，即可确定多层石墨烯样品层数。本发明实验测试方法简单，不依赖于SiO2/Si衬底的取向和入射激光的偏振状态，对不同的实验测试系统具有普适性，适用于100层以内多层石墨烯样品的层数表征。

主权项

一种测试复合硅衬底上多层石墨烯样品层数的方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1：利用椭圆偏光仪测量复合硅衬底表面SiO2层的厚度，其中复合硅衬底为SiO2/Si衬底，SiO2层形成于Si层之上；步骤2：在复合硅衬底上通过微机械剥离方法或转移方法制备多层石墨烯样品；步骤3：利用光学显微镜在复合硅衬底表面找到需要测试的多层石墨烯样品区域，选择激光光源，利用显微拉曼谱仪分别测试复合硅衬底被多层石墨烯样品覆盖部分以及未被多层石墨烯样品覆盖部分的位于520波数附近的一阶硅拉曼信号，被多层石墨烯样品覆盖部分一阶硅拉曼信号的强度被标记为I(SiG)，未被多层石墨烯样品覆盖部分一阶硅拉曼信号的强度被标记为I(Si0)，得到强度比值I(SiG)/I(Si0)的测试值；步骤4：利用激光波长、显微物镜数值孔径、复合硅衬底SiO2层厚度和石墨烯复折射率计算得到在此条件下强度比值I(SiG)/I(Si0)随石墨烯层数变化关系的理论值，将该理论值与测试值进行对比，得到多层石墨烯样品的层数。