[发明专利]一种多组电极平铺式电流体动力微泵

摘要

本发明公开了一种多组电极平铺式电流体动力微泵，包括电极片和盖合在电极片上的腔室盖板，腔室盖板的外围与电极片密封结合；在电极片上与腔室盖板的结合面上，由三组结构相同梳齿状电极阵列，在腔室盖板上与电极片的结合面上开设有日字型沟槽，沟槽内、对应于电极的末端和始端位置分别开设有液体流出口和液体流入口。腔室盖板上的液体流入口作为微泵入口，使液体分布在日字型沟槽之间、三组梳齿状电极阵列的集电极与发射极之间，并通过液体流出口完成并联液体汇合流出，有效提高微泵的效率，可以大幅度提升电流体动力泵的动力效果，从而使芯片的热量能及时排出，克服了现有技术由于芯片不能及时散热，而导致易损坏、工作不稳定等缺点。

主权项

一种多组电极平铺式电流体动力微泵，其特征在于包括电极片(4)和盖合在电极片(4)上的腔室盖板(3)，所述腔室盖板(3)的外围与电极片(4)密封结合；在电极片上与腔室盖板(3)的结合面上，由三组结构相同的电极并列平铺组成，每组电极均由向上凸起的集电极和发射极构成，集电极与发射极之间相互间隔并交错排布，构成三组梳齿状电极阵列(5)；每组梳齿状电极阵列(5)中的集电极和发射极末端分别用导线引至梳齿状电极阵列之外；在腔室盖板(3)上与电极片的结合面上开设有”日”字型沟槽(3?1)，在”日”字型沟槽(3?1)内、对应于电极的末端和始端位置分别开设有液体流出口(1)和液体流入口(2)。