[发明专利]在线判断基体是否损伤的方法

摘要

本发明提供了一种在线判断基体是否损伤的方法，属于激光技术领域；通过将激光光束作用于材料表面，观察激光诱导等离子体闪光的强度信号曲线是否出现凹点来判定基体是否损伤，并通过激光诱导等离子体闪光强度信号曲线中的理论最大值及其以后的数据为有效数据来进一步验证凹点是否存在；本发明方法快捷方便，可在线反馈控制调整激光烧蚀参数，有助于提高激光加工精度或产品质量，也可集成在自动化生产线上，在工业领域易于推广应用。

主权项

一种在线判断基体是否损伤的方法，其特征在于，S1、激光光束烧蚀表面覆盖薄膜的金属基体，并发出等离子体闪光信号；S2、通过拟合数据判断激光烧蚀过程采集的等离子体闪光信号曲线是否出现凹点：以等离子体闪光信号曲线中的最大值及其以后的数据为有效数据，采用公式拟合有效数据，求解待定系数a、b、c、x0、y0，其中y是等离子体闪光信号的有效数据，x是有效数据对应的时间信息；然后采用参数和评价拟合效果，其中，yi是实验测量的有效数据，yi'是拟合出的理论数据，n表示有效数据的个数，S表示测量值与拟合值之差的均方根平均值，S0为设定衡量指标的标准值；当S＞S0，金属基体被激光烧蚀损伤，反之，金属基体未被激光烧蚀损伤。