[发明专利]基板清洗方法及基板清洗装置有效
申请号: | 201510071142.1 | 申请日: | 2015-02-10 |
公开(公告)号: | CN104941948B | 公开(公告)日: | 2017-03-22 |
发明(设计)人: | 宫胜彦 | 申请(专利权)人: | 斯克林集团公司 |
主分类号: | B08B3/12 | 分类号: | B08B3/12 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司72003 | 代理人: | 宋晓宝,向勇 |
地址: | 日本国京*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供一种在不增大生产节拍时间以及运营成本的情况下,抑制在基板的一个主面上形成的图案受到损坏的同时,良好地清洗基板的另一个主面的基板清洗方法及基板清洗装置。该基板处理装置包括液膜形成工序,向基板的一个主面供给第一液体来形成第一液膜,清洗工序,在一个主面上形成有第一液膜的状态下,将对第二液体施加超声波而成的超声波施加液供给至基板的另一个主面,来对另一个主面进行清洗;第一液体的空化强度比第二液体的空化强度低,空化强度是指,在超声波传递至在基板的主面上存在的液体时,通过在该液体中发生的空穴现象来作用于基板的每单位面积的应力。 | ||
搜索关键词: | 清洗 方法 装置 | ||
【主权项】:
一种基板清洗方法,对在一个主面上形成有图案的基板的另一个主面进行清洗,其特征在于,包括:液膜形成工序,向所述基板的所述一个主面供给第一液体,来形成第一液膜,清洗工序,在所述一个主面上形成有所述第一液膜的状态下,将对第二液体施加超声波而成的超声波施加液供给至所述基板的所述另一个主面,来对所述另一个主面进行清洗;所述第一液体的空化强度比所述第二液体的空化强度低,所述空化强度是指,在超声波传递至在所述基板的主面上存在的液体时,通过在该液体中发生的空穴现象来作用于所述基板的每单位面积的应力。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于斯克林集团公司,未经斯克林集团公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201510071142.1/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:驱动装置
- 下一篇:一种铝溶胶的制备方法