[发明专利]用于气体流量控制的方法和设备

摘要

一种用于气体流量的自校准控制的方法和设备。一开始通过将节流装置的开放量控制到高精确度来设置气体流率，其中包含节流装置的设备设计使其能够实现高精确度。然后通过节流装置上游的压力下降速率来测量气体流率，如果需要，调节节流装置的开放量以获得精确的期望流量。

主权项

一种用于精确气体输送的系统，包括：流量控制阀；测量所述流量控制阀上游的气体压力的压力换能器；温度传感器；位于所述流量控制阀上游的流量调节器；将所述流量调节器耦合到所述流量控制阀的管路；以及控制器，从所述压力换能器和温度传感器接收信号，并根据流量计算以及通过针对气体压力、气体温度和所述流量控制阀的节流装置开放量的值的范围测量气体流率而事先确定的查找表来控制所述流量控制阀的操作；其特征在于：所述流量控制阀包括致动器，所述致动器通过使所述流量控制阀的主体部分弹性弯曲来改变气体流量，其中所述致动器以0.1nm的分辨率进行致动运动；其中利用位移传感器测量所述主体部分的位移；其中所述节流装置的两个相对面之间的相对运动被限制为单轴运动，并且其中所述两个相对面在另外两个轴中的横向和/或旋转相对运动被限制为小于1nm。