[发明专利]用于批量合成复合材料的多元脉冲激光沉积系统和方法有效
| 申请号： | 201510046669.9 | 申请日： | 2015-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN104593732A | 公开（公告）日： | 2015-05-06 |
| 发明（设计）人： | 张晓军 | 申请（专利权）人： | 张晓军 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28 |
| 代理公司： | 河北东尚律师事务所 13124 | 代理人： | 王文庆 |
| 地址： | 050051 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了材料学领域的一种用于批量合成复合材料的多元脉冲激光沉积系统和方法，包括使用几束高能激光，聚焦并让其蒸发不同的源材料靶材，产生不同的激光等离子束，然后不均匀的沉积源材料到基片上。本发明具有成本低，效率高，简单易用，协调性强等特点。本发明可用于新型材料研究中大批量的材料合成。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 批量 合成 复合材料 多元 脉冲 激光 沉积 系统 方法 | ||
【主权项】：
用于批量合成复合材料的多元脉冲激光沉积系统,其特征在于：包括用于发射激光束的高能激光器和真空腔，在真空腔内设置有多个用于固定多个源材料靶材的小固定台；在真空腔内同时设置有用于固定基片的加热台；所述加热台的用于放置基片的台面与多个小固定台的用于放置源材料靶材的台面为相对设置；在真空腔的一个侧面设置有供激光束通过并能使得激光束照射到小固定台的石英窗口。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于张晓军;，未经张晓军;许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510046669.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种用于反应腔的屏蔽结构
- 下一篇：一种高性能弹簧钢
- 同类专利
- 专利分类
