[发明专利]监测强腐蚀性气体的非接触电极压电传感器装置与方法有效
| 申请号： | 201510031242.1 | 申请日： | 2015-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN104535449B | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 申大忠;蔡婷婷;康琪;朱西雷;王旭祥;孔令强;马晓龙 | 申请（专利权）人： | 山东师范大学 |
| 主分类号： | G01N5/02 | 分类号： | G01N5/02 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司37221 | 代理人： | 张勇 |
| 地址： | 250014 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种监测强腐蚀性气体的非接触电极压电传感器装置与方法，包括压电石英晶片、激励电极、吸附测量池、控制器和阻抗分析仪；本发明实现用压电传感器监测强腐蚀性气体与固体表面的相互作用过程；彻底消除了先前喷镀在石英晶片表面银膜或金膜电极的腐蚀而引起的吸附量测定误差；激励电极与石英晶片分离后，增强了石英晶体谐振器的质量负载能力，扩大了该传感器可测定的质量变化的线性范围；恢复了石英本身优良的透光性，配合使用圆环金属电极，在圆环中加装光导纤维与光谱测量仪器相联，可同时测定石英表面上的质量与光谱变化的信息。 | ||
| 搜索关键词： | 监测 腐蚀性 气体 接触 电极 压电 传感器 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种监测强腐蚀性气体的非接触电极压电传感器装置，其特征是：包括压电石英晶片、激励电极、吸附测量池、控制器和阻抗分析仪；两个激励电极分别安装于压电石英晶片上下方，且与压电石英晶片分离，构成激励电场，其中上激励电极封装在薄壁玻璃管中，置于吸附测量池内，下激励电极置于吸附测量池底部，激励电场通过玻璃与空气的传导施加在压电石英晶片上使其谐振，其谐振频率由阻抗分析仪测定，并由控制器进行数据采集、分析和存贮。
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