[发明专利]一种基于飞秒激光的太赫兹时域光谱仪

摘要

本发明公开了一种基于飞秒激光的太赫兹时域光谱仪，包含透射式系统和反射式系统两种模式。飞秒激光聚焦产生的太赫兹波，被第一离轴抛物镜准直后，经第二离轴抛物镜聚焦到样品上，进行透射或者反射模式测量，经过样品的太赫兹波被第三离轴抛物镜收集后，经第四离轴抛物镜聚焦到探测晶体上，得到太赫兹的时域光谱。本发明将第二和第三离轴抛物镜和样品架集成到一块底板上作为一个测量模块。两个短焦距离轴抛物镜和透射样品架集成为透射测量模块。两个长焦距离轴抛物镜和反射样品架集成为反射测量模块。采用五维调整装置夹持第一和第四离轴抛物镜，用于切换透射模块或反射模块时快速恢复第一和第四离轴抛物镜的最优位置。本发明的太赫兹时域光谱仪调整过程简单快速，有利于太赫兹时域光谱仪的集成化和用户操作。

主权项

一种基于飞秒激光的太赫兹时域光谱仪，包含透射测量和反射测量两种模式，飞秒激光聚焦产生的太赫兹波，被第一离轴抛物镜准直后，经第二离轴抛物镜聚焦到样品上，进行透射或者反射模式测量，经过样品的太赫兹波被第三离轴抛物镜收集后，经第四离轴抛物镜聚焦到探测晶体上，得到太赫兹的时域光谱，其特征在于将两个短焦距的第二、第三离轴抛物镜和样品架固定在一块独立的光学平板上集成为透射模块，将两个长焦距的第二、第三离轴抛物镜和样品架固定在一块独立的光学平板上集成为反射模块，透射模块和反射模块可以相互切换，第一、第四离轴抛物镜分别由一个可读数的五维调整装置固定，五维调整装置可进行前后、左右、俯仰、偏摆及旋转五维调节。