[发明专利]一种基于自混合干涉的折射率测量装置及方法

摘要

本发明公开了一种基于自混合干涉的折射率测量装置，包括激光光源、位移台、反射镜、信号处理单元及数据处理单元，所述位移台上装载有被测样品，所述激光光源、被测样品及反射镜依次光路连接，所述信号处理单元的输入端与所述激光光源相连，其输出端与所述数据处理单元。本发明还公开了一种基于自混合干涉的折射率测量方法。本发明无需传统激光干涉仪的分束器和参考镜等辅助光学元件，结构简单紧凑，成本低廉，装置易准直，适用范围广。

主权项

一种基于自混合干涉的折射率测量方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、准备被测样品，保证该被测样品的两个透射面具有共垂面并形成一夹角，并对该夹角的角度进行测量；S2、将被测样品放置在位移台上，保证被测样品的一个透光面垂直于位移台的工作台面且垂直于激光光源的光轴；S3、开启激光光源，调节反光镜使被反光镜反射的激光能够返回到激光光源，并测量反光镜与被测样品的透射面的夹角；S4、启动数据采集卡，沿激光光源的光轴方向移动位移台并记录位移台的位移距离，光电二极管产生的电流信号经过信号处理单元处理后传输给数据采集卡，并通过数据采集卡发送给计算机进行存储；S5、计算机对数据进行分析处理，计算出被测样品的折射率，具体为，S51、对数据进行重采样、滤波、归一化幅值，然后计数条纹数量；S52、建立折射率求取模型：n=(λN2dsinα+cosβ)2+sin2β]]>其中，n为被测样品的折射率，λ为激光波长，N为条纹数量，d为位移距离，ɑ为被测样品的两个透射面的夹角，β为反光镜与被测样品的透射面的夹角；S53、将λ、N、d、β的值代入折射率求取模型，计算出被测样品的折射率n。