[发明专利]一种c面蓝宝石的刻蚀方法

摘要

本发明公开一种c面蓝宝石的刻蚀方法，即首先将c面蓝宝石在25℃的由氢氟酸和水组成的混合液中保持20min后取出，依次经酒精清洗、超声清洗、吹干，即得经氢氟酸处理后的c面蓝宝石；然后将经氢氟酸处理后的c面蓝宝石在温度160℃的由浓硫酸和浓磷酸组成的混合酸中保持20min后自然冷却，取出c面蓝宝石依次经酒精清洗、超声清洗、吹干，得经混合酸处理后的c面蓝宝石；最后将所得的经混合酸处理后的c面蓝宝石放入到温度325‑340℃的片状NaOH融化液中保持10min后，取出c面蓝宝石再依次经酒精清洗、超声清洗、吹干，即完成了c面蓝宝石的刻蚀。该刻蚀方法具有刻蚀效果好，均匀性好，品质良好，良率高等优点。

主权项

一种c面蓝宝石的刻蚀方法，其特征在于具体包括如下步骤：（1）、按体积比计算，质量百分比浓度为40%的氢氟酸水溶液：水为1:200的比例，将质量百分比浓度为40%的氢氟酸水溶液和水进行混合后，所得的混合液控制温度为25℃，将洁净的c面蓝宝石片放入其中，40KHz 下超声或静止20min，然后取出c面蓝宝石片，依次经酒精清洗，30℃、40KHz 的条件下超声清洗，最后吹干，即得氢氟酸处理后的c面蓝宝石；（2）、按体积比计算，浓硫酸：浓磷酸为3:1的比例，将浓硫酸和浓磷酸混合后，所得的混合酸加热到温度160℃后，将步骤（1）所得的氢氟酸处理后的c面蓝宝石放入其中，保持温度为160℃持续20min，然后自然冷却，将混合酸倒出来，最后取出c面蓝宝石，依次经酒精清洗，30℃,40KHz 的条件下超声清洗，最后吹干，即得经混合酸处理后的c面蓝宝石；所述浓硫酸，其质量百分比浓度为95‑98%，所述浓磷酸为质量百分比浓度为85%的磷酸水溶液；（3）、将片状固体NaOH放入到容器中加热至温度为325‑340℃至其全部融化澄清，将步骤（2）所得的经混合酸处理后的c面蓝宝石放入其中，保持温度为325‑340℃持续10min后，立刻取出c面蓝宝石或将容器中的NaOH迅速倒出来后将c面蓝宝石取出，取出的c面蓝宝石依次经酒精清洗，30℃、40KHz 的条件下超声清洗，最后吹干，即完成了c面蓝宝石的刻蚀。