[其他]激光修复装置及显示装置

摘要

本实用新型提供一种激光修复装置及显示装置，其通过对形成有不同种类的多层膜的基板上的特定膜照射激光而实施修复处理，本实用新型的激光修复装置(1)中具备：激光源(3)，以规定的振荡波长(λs)进行输出；波长转换部(4)，将从激光源(3)射出的激光的波长转换成在特定膜中吸收最多的特定波长(λt)；传输光学系统(5)，在设定光路上传输从波长转换部(4)射出的激光，传输光学系统(5)包括使特定波长(λt)的激光选择性地在设定光路上传输的波长选择光学要件(5A、5B、5D)，并射出高纯度的特定波长(λt)的激光，从而，针对基板上层叠有异种膜的处理对象，通过抑制对下层的不良影响而选择性地仅对特定的膜进行修复处理。

主权项

一种激光修复装置，其通过对形成有不同种类的多层膜的基板上的特定膜照射激光而实施修复处理，所述激光修复装置的特征在于，具备：激光源，以规定的振荡波长进行输出；波长转换部，将从所述激光源射出的激光的波长转换成在所述特定膜中吸收最多的特定波长；及传输光学系统，在设定光路上传输从所述波长转换部射出的激光，所述传输光学系统包括使所述特定波长的激光选择性地在所述设定光路上传输的波长选择光学要件，并射出高纯度的所述特定波长的激光。