[发明专利]粒子荷电装置

摘要

在粒子荷电装置中设置：将框体(20)内分隔成第1空间(29)和第2空间(30)的过滤器(28)；将粒子导入到第1空间的粒子导入单元(22)；对第1空间供给气体离子的气体离子供给单元(10)；为了使气体离子以及通过该气体离子与上述粒子的接触而生成的带电粒子向第2空间移动，在框体内形成电位梯度的电位梯度形成单元(26、27、31)；对过滤器中包括的相互相邻的电极(28a、b)施加相位不同的交流电压的交流电压施加单元(32，33)；为了使带电粒子通过电极之间并且由电极捕捉气体离子，进行控制以将规定的电压施加到各电极的控制单元(35)；以及将移动到第2空间的带电粒子取出到框体外的带电粒子取出单元(23、25、34)。由此，能够抑制多价荷电的发生频度。

主权项

1.一种粒子荷电装置，其特征在于，具有：a)框体；b)过滤器，其由在将所述框体内分隔成第1空间和第2空间的假想的面内延伸的多个电极构成；c)粒子导入单元，其将作为荷电对象的粒子导入到所述第1空间；d)气体离子供给单元，其对所述第1空间供给气体离子；e)电位梯度形成单元，其为了使所述气体离子以及由于所述粒子接触到该气体离子而生成的带电粒子从所述第1空间向所述第2空间移动，在所述框体内形成电位梯度；f)交流电压施加单元，其对构成所述过滤器的所述多个电极中的各电极施加交流电压，对所述多个电极中的相互相邻的电极施加相位不同的电压；g)控制单元，为了使从所述第1空间向所述第2空间移动的所述带电粒子以及所述气体离子中的所述带电粒子通过所述多个电极之间并且所述气体离子由该多个电极中的某一个捕捉，所述控制单元控制所述交流电压施加单元以将预先确定的电压施加到所述多个电极；以及h)带电粒子取出单元，其将移动到所述第2空间的所述带电粒子取出到所述框体的外部。